MEMS 在高低温测试过程中，很多时候会出现干扰（跳刺）的现象。

星宇华准专业生产MEMS 测试系统专用高低温箱，满足各种产品测试，温度测试范围-70~150摄氏度。

MEMS 在高低温测试过程中，‌这些干扰主要来源于以下几个方面：
电磁脉冲辐射干扰、电源干扰、 机械振动噪声、 异物或颗粒干扰、在做试验过程中可以逐一排查，其中，温箱可以说是一个十分关键的干扰源，那么如何判定和排查温箱，是否是温箱的原因呢？

具体有以下几个步骤：
第一：不开温箱，测试产品，看干扰是否存在干扰，（存在需要排查其他干扰原因）
第二：开温箱，只做80°C或85°C测试，看是否存在干扰，
第三：设备开机正常做降温，恒温，升温，恒温，测试，看是否存在干扰，

虽然在中国做温箱的厂家很多，但是能够将单轴，双轴，三轴温箱做好，没有干扰的，是少之又少。星宇华准单轴，双轴，三轴温箱就是没有干扰的高低温箱，我们有很多很多MEMS测试产品的实践经验。

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其他干扰源解释：

电磁脉冲辐射干扰：‌这种干扰可以通过使用基于RFMEMS滤波器的L波段微波功放滤波电路作为测试电路样品，‌并搭建空间电子耦合特性测试系统进行测试。‌该系统包括微波辐射天线、‌纳秒脉冲驱动电源、‌接收天线、‌示波器、‌射频信号发生器等设备，‌通过确定测试参数并进行电磁干扰测试，‌可以有效评估和解决电磁脉冲辐射干扰问题

空间电磁波干扰：‌空间中的电磁波可能会对MEMS测试造成干扰，‌尤其是在长距离信号传输过程中。‌这种干扰可能来自于周围空间的电磁场、‌信号线间的串扰、‌以及长线信号的地线干扰等2。‌

电源干扰：‌如果电源系统没有经过净化，‌可能会对测试系统产生干扰。‌此外，‌大型交流电力设备的启停可能会产生频率很高的浪涌电压叠加在电网电压上，‌对MEMS测试造成影响。‌

地线干扰：‌当各部分电路的电流均流过公共地电阻时，‌会产生电压降，‌形成噪声干扰信号。‌此外，‌在远距离测量中，‌传感器和检测仪表分别接地，‌在两“地”之间存在较大的接地电位差，‌形成共模干扰2。‌

机械振动噪声：‌MEMS芯片振动产生的机械振动噪声也是MEMS测试中的一个重要干扰源。‌通过在真空腔体中测试MEMS麦克风的噪声谱图，可以排除机械震动的干扰，从而更准确地分析电噪声问题3。‌

异物或颗粒干扰：‌在振膜与背板间存在的异物或颗粒可能会导致MEMS性能下降。‌通过光学显微镜可以快速定位这些异物或颗粒，‌从而采取相应的措施解决这些问题